Каталог документов NormaCS

ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений. Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

ГОСТ Р 8.659-2009 входит в следующие классификаторы и разделы
Примеры документов	(ГОСТ 8) ГСОЕИ Государственная система обеспечения единства измерений
ПромЭксперт	РАЗДЕЛ II. МЕТРОЛОГИЧЕСКОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ → I Организационные и технические основы метрологического обеспечения → 2 Технические основы метрологического обеспечения → 2.3 Поверка, калибровка и испытания средств измерений → 2.3.10 Оптические и оптико-физические измерения
Классификатор ISO	17 МЕТРОЛОГИЯ И ИЗМЕРЕНИЯ. ФИЗИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ → 17.020 Метрология и измерения в целом
Классификатор ISO	17 МЕТРОЛОГИЯ И ИЗМЕРЕНИЯ. ФИЗИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ → 17.240 Измерение излучений
Национальные стандарты	17 МЕТРОЛОГИЯ И ИЗМЕРЕНИЯ. ФИЗИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ → 17.020 Метрология и измерения в целом
Национальные стандарты по КГС	Последняя редакция → Т Общетехнические и организационно-методические стандарты → Т8 Государственная система измерений → Т84 Государственные эталоны единиц физических величин и государственные поверочные схемы
Национальные стандарты по КГС	Последняя редакция → Т Общетехнические и организационно-методические стандарты → Т8 Государственная система измерений → Т84 Государственные эталоны единиц физических величин и государственные поверочные схемы → Т84.1 Измерения геометрических величин
Национальные стандарты по КГС	Последняя редакция → Т Общетехнические и организационно-методические стандарты → Т8 Государственная система измерений → Т84 Государственные эталоны единиц физических величин и государственные поверочные схемы → Т84.10 Оптические и оптико-физические измерения

ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений. Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки

Статус: Информация о статусе доступна в коммерческой версии NormaCS
Текст документа: присутствует в коммерческой версии NormaCS
Сканкопия официального издания документа: присутствует в коммерческой версии NormaCS
Страниц в документе: 15
Утвержден: Росстандарт; Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии, 15.12.2009
Обозначение: ГОСТ Р 8.659-2009
Наименование: Государственная система обеспечения единства измерений. Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки
Ключевые слова: средства измерений, спектральная чувствительность, ультрафиолетовое излучение, энергетическая яркость, сила излучения, нанофотолитография, синхротронное излучение.
Дополнительные сведения: доступны через сетевой клиент NormaCS. После установки нажмите на иконку рядом с названием документа для его открытия в NormaCS

ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений. Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки