| Каталог документов NormaCS
ГОСТ Р 8.640-2008 Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки
ГОСТ Р 8.640-2008 Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверкиСтатус: Информация о статусе доступна в коммерческой версии NormaCS Текст документа: присутствует в коммерческой версии NormaCS Сканкопия официального издания документа: присутствует в коммерческой версии NormaCS Страниц в документе: 15 Утвержден: Росстандарт; Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии, 26.03.2008 Обозначение: ГОСТ Р 8.640-2008 Наименование: Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки Ключевые слова: средства измерений, энергетическая освещенность, спектральная чувствительность, ультрафиолетовое излучение, радиометр, фотолитография. Дополнительные сведения: доступны через сетевой клиент NormaCS. После установки нажмите на иконку рядом с названием документа для его открытия в NormaCS
Пожалуйста, дождитесь загрузки страницы... Документ ссылается на:
Показать легенду ГОСТ 8.207-76 - Государственная система обеспечения единства измерений. Прямые измерения с многократными наблюдениями. Методы обработки результатов наблюдений. Основные положения ГОСТ 8.552-2001 - Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений потока излучения и энергетической освещенности в диапазоне длин волн от 0,03 до 0,40 мкм ГОСТ Р 1.0-2004 - Стандартизация в Российской Федерации. Основные положения Федеральный закон 184-ФЗ - О техническом регулировании
На документ ссылаются:
Показать легенду
|